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煙氣超聲波流速儀常被用于精準(zhǔn)測量煙氣的流量，按照其測量原理可分為傳播時(shí)間法和多普勒頻移法，其中傳播時(shí)間法又可分為時(shí)差法、相位差法、頻率差法三種。目前絕大多數(shù)的煙氣超聲波流速儀的測量原理都采用時(shí)差法。

超聲波在流體中的傳播時(shí)，順流方向和逆流方向的傳播速度是不一樣的，其順溜與逆流的傳播速度的時(shí)間差與流體的流速成正比。所以只要測量超聲波發(fā)射器和接收器在兩個(gè)方向的傳播時(shí)間差，就可以測得流體的流速。

通常煙氣超聲波流速儀現(xiàn)場安裝時(shí)，在煙囪或煙道的兩側(cè)各安裝一個(gè)超聲波發(fā)射/接收傳感器。超聲波的發(fā)射端和接收端典型的角度為30~60°，超聲波的發(fā)射頻率為50kHz。超聲波發(fā)射器將電信號轉(zhuǎn)換為聲脈沖信號，超聲波的接收器再將聲脈沖信號轉(zhuǎn)換為電信號。順流時(shí)聲脈沖信號從發(fā)射端到接收端與逆流時(shí)聲脈沖信號從發(fā)射端到接收端的時(shí)間差與煙氣的流速成正比。

除此之外，超聲波在流體中的傳播速度受流體的組分、溫度與壓強(qiáng)影響。溫度越高、壓強(qiáng)越大，則超聲波的傳播速度越快，反之則越小。

現(xiàn)在的煙氣超聲波流速儀都帶有自動(dòng)補(bǔ)償功能 。對于煙氣的溫度和壓強(qiáng)產(chǎn)生變化時(shí)，對于測量煙氣流量結(jié)果影響很小。