煙氣脫硝CEMS分析氮氧化物的技術(shù)主要有：a.紅外光譜技術(shù)，包括非分散紅外分析技術(shù)(NDIR)、氣體過濾相關(guān)紅外分析技術(shù)(GFC)、傅里葉變換紅外光譜分析技術(shù)(FT-IR)；b.紫外光譜技術(shù)(NDUV)、紫外差分光學(xué)吸收光譜(DOAS)；c.半導(dǎo)體光光譜吸收法(TDLAS)；d.化學(xué)發(fā)光技術(shù)及電化學(xué)技術(shù)等。

抽取監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中常用的是非分光散外分析技術(shù)、氣體過濾相關(guān)紅外分析技術(shù)、紫外光譜技術(shù)、紫外差分光譜技術(shù)和化學(xué)發(fā)光技術(shù)等。紅外光譜法和紫外光譜法在冷干抽取式 CEMS測(cè)量NOx的應(yīng)用較為廣泛?；瘜W(xué)發(fā)光法技術(shù)的測(cè)量檢出限低，靈敏度高，在稀釋抽取式CEMS測(cè)量NO系統(tǒng)中經(jīng)常采用。熱濕抽取式CEMS測(cè)量NOz，主要是應(yīng)用高溫紅外、高溫紫外差分及傅里葉變換紅外光譜分析技術(shù)較多。

通常煙氣中NOx的總量主要是由NO及NO2組成，NO的含量一般占到90%以上。應(yīng)用紅外光譜或化學(xué)發(fā)光光譜技術(shù)的儀器測(cè)量對(duì)象是NO。對(duì)于監(jiān)測(cè)NO2的測(cè)量，必須要通過氮氧化物轉(zhuǎn)換爐將NO2轉(zhuǎn)換為NO后進(jìn)行測(cè)量，從而測(cè)得NOx的總量，采用NO2的總量減去不通過轉(zhuǎn)化爐單獨(dú)檢測(cè)的NO含量就可以得到NO2的濃度。

在原位法直接式NOx監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中，主要采樣的分析技術(shù)為紫外差分吸收光譜及半導(dǎo)體激光光譜吸收法測(cè)定技術(shù)。
脫硝出口的凈煙氣測(cè)量中，除測(cè)量氮氧化物外還需要測(cè)量微量的氨逃逸量，在測(cè)量氨逃逸量的技術(shù)中，由于微量氨(小于3μmol/mol)的測(cè)量難度較大，又易溶于水。測(cè)量微量氨大多采用原位激光氣體光譜技術(shù)測(cè)定，也可以采用催化還原-化學(xué)發(fā)光法或熱濕傅里葉變換紅外光譜分析技術(shù)。