氧含量的測(cè)定技術(shù)已經(jīng)非常成熟，常用的在線(xiàn)監(jiān)測(cè)儀器有氧化鋯氧分析器、電化學(xué)燃料電池氧分析器，以及順磁氧分析器等，順磁氧分析儀又分為熱磁式氧分析儀和磁力機(jī)械式氧分析儀及磁壓式氧分析儀等。激光光譜氣體分析儀也可用于氧含量的測(cè)量。

固定排放源的煙氣或廢氣中的氧含量測(cè)量由于測(cè)量的工藝條件、背景氣及測(cè)量要求不同，可以選用不同的氧分析儀。燃煤電廠的鍋爐煙氣測(cè)量常選用氧化鋯氧分析儀及燃料電池氧分析儀。例如，采用氧化鋯氧分析儀可以測(cè)量濕氧，也可以用來(lái)測(cè)量干濕氧，用于測(cè)量煙氣含濕量；也可以在氣態(tài)污染物測(cè)量二氧化硫、氮氧化物的多組分分析儀中，增加電化學(xué)氧傳感器模塊測(cè)量干氧。

可協(xié)調(diào)激光器及激光氣體分析檢測(cè)技術(shù)的發(fā)展應(yīng)用，已經(jīng)實(shí)現(xiàn)激光源為在線(xiàn)監(jiān)測(cè)煙氣水分及煙氣含氧量的監(jiān)測(cè)，并在某些特定領(lǐng)域得到較好的應(yīng)用。相比于常見(jiàn)的煙氣溫度、壓力、流速監(jiān)測(cè)儀及常用的氧分析儀，在某些復(fù)雜的應(yīng)用場(chǎng)合，特別是干擾較大的場(chǎng)合將有較好的應(yīng)用發(fā)展前景，但由于激光水分儀及激光測(cè)氧儀的價(jià)格很高，推廣比較困難。在一般場(chǎng)合下，采用阻容法或干濕氧法在線(xiàn)測(cè)量含水量，以及采用氧化鋯或電化學(xué)傳感器測(cè)氧就可以滿(mǎn)足CEMS測(cè)量要求。

CEMS的煙氣參數(shù)檢測(cè)系統(tǒng)，通常由煙氣流速儀、煙氣濕度儀以及氧含量監(jiān)測(cè)儀等組成。煙氣參數(shù)檢測(cè)儀器大多由帶傳感器的取樣探頭直接進(jìn)行原位測(cè)量，其輸出的測(cè)量信號(hào)由CEMS的PLC模塊采集，并送到DAS進(jìn)行數(shù)據(jù)處理計(jì)算，并獲得在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下排放的干煙氣氧濃度；并用于煙氣污染物在線(xiàn)分析測(cè)量的排放濃度數(shù)據(jù)換算到污染物排放的實(shí)時(shí)質(zhì)量濃度，及計(jì)算出煙氣污染物的排放率、排放總量。